配备高分辨率微焦X射线管 

• (Focal Spot Size （焦斑尺寸） : 0.9µm, Max. 160kV/200µA) 

• Max. Magnification up to 4,800x 最大放大倍率高达4,800倍 

• Table Size(最大样品承载尺寸): 460mm x 510mm 

•  70°倾斜角度观察和360°全方位自由观测功能(即AFTTM 功能) 

• 友好界面，配备多种测量工具 

• -Auto Teaching (CNC Programming) 预设检查条件功能 

• -Automatic BGAInspection Module BGA自动检查模组

• 设备尺寸：1,340(W) x 1,450(D) x 1660(H) mm

• Optional micro-CT module 可选配micro-CT检查模组

• - 3D Oblique CT • - Fast Recon. Speed of < 10 sec. 超快速CT重建模组（ 重建速度< 10 sec ）